特殊ガスバルブ。
純度を追求した設計。

特種ガスバルブは、高純度、腐食性、有毒または自然発火性のガス向けに作られた遮断・切替・流量制御バルブです。一般産業用バルブと比べ、低介在物ステンレス鋼、金属ダイヤフラムまたはベローズシール、電解研磨された接液面、ヘリウムリーク試験、クリーンルーム包装を採用しています。

UHPダイヤフラムバルブが標準選択です。金属ダイヤフラムがアクチュエータをガス流路から隔離し、内部容積が小さく、ステムパッキンからのアウトガスがありません。

特種ガスは高純度で供給されるか、反応性、腐食性、毒性、自然発火性を持ちます。その供給システムには、窒素や圧縮空気のようなバルク産業ガスよりはるかに厳しいリーク、清浄度、材料管理が必要です。

はい。多くのバルブファミリーは手動ハンドホイールまたはノーマルクローズ空圧アクチュエータで用意できます。空圧仕様は一般に手動仕様より最大圧力定格が低くなります。

型式に応じて、VCR フェイスシール、オービタル突合せ溶接、圧縮継手、ねじ込みまたは CGA/DISS ボンベ接続から選択。