ガスバルブマニホールド＆VMB

Valonix はこれらアセンブリを UHPダイヤフラムバルブ、高純度レギュレータ、チェックバルブ、三方向切替バルブを中心に構成し、接液部品が単一の清浄度基準を共有するようにしています。

自動切り替え

デュアルシリンダー切替システムは、ツールへの供給を中断せずに、稼働シリンダーから待機シリンダーへ切り替えます。圧力検知が切替を起動し、パージシーケンスが切り替えた系統を稼働ラインに投入する前に清掃します。予期しないガス遮断でウェハロットが廃棄されるファブ装置では、連続供給が不可欠です。

• 稼働/待機シリンダーの切り替え
• 自動または手動切り替え
• 新しいレッグをオンラインにする前にパージする

VMB/VMPの構造

代表的なパネルは、ボンベ接続、高圧隔離バルブ、レギュレータ、プロセスダイヤフラムバルブ、パージダイヤフラムバルブ、ベント用チェックバルブ、三方向切替バルブから成ります。インターロックが操作順序を強制し、プロセスガス導入前にバルブ位置を検証します。

• 遮断、調整、プロセス、パージ、ベントバルブ
• インターロックされたパージとベントのシーケンス
• 作動バルブの位置フィードバック

必要な設計情報

マニホールドの構成には、ガスリスト、ソース・出口数、供給圧力、必要流量、パージ方式、利用可能な計器用空気、敷地の安全・インターロック思想が必要です。これらを前もって揃えれば、溶接済みパネルの手戻りを避けられます。

• ガスリストと濃度
• ソースとアウトレットの数
• 吐出圧力と流量
• インターロックおよびESDの考え方

標準仕様

よくあるご質問