太陽電池製造用ガスバルブ

太陽電池・太陽光発電関連製品の製造

公開日 2026-11-05 · 更新 2026-11-05 · Valonix Engineering

太陽電池セル生産は、PECVD、拡散、薄膜成膜装置全体で大量のシラン、アンモニア、亜酸化窒素、窒素を使用します。ラインサイズは半導体ファブより大きいことが多いため、流量容量と圧力安定性が最終純度と同じくらい重要です。

Valonix はこれらの配管システム向けに、高流量 UHPダイヤフラムバルブ、レギュレータ、チェックバルブを供給し、永久ヘッダーと保守可能な装置接続の両方に合う突合せ溶接およびフェイスシール端部を用意しています。

高流量分配

太陽電池ラインは一般に 1/2～1 インチの配管ヘッダーを使用します。分岐に Cv 0.70、ヘッダーに Cv 2.8-3.5 のバルブを用いれば、清潔でパージ可能な流路を保ちつつ圧力降下を低く抑えられます。

シランは自然発火性です。パネルにはノーマルクローズ空圧バルブ、専用パージ系統、パージ供給側のチェックバルブ、インターロック付きベント経路を用いるべきです。バルブ位置フィードバックにより、制御システムはプロセス工程開始前に安全状態を検証できます。

PV ファブは多数の並列配管を走らせるためバルブ数が多くなります。サイズをまたいで単一のバルブファミリーを使えば、予備品が簡素化され、認定作業が減り、工場全体で接液基準が一貫します。

通常、分岐は 1/2 インチ、ヘッダーは 3/4～1 インチで、Cv は流量要件に応じて 0.70～3.5 です。

はい。ノーマルクローズ空圧作動、インターロック付きパージ系統、適合シート材質で対応できます。