UHPバルブヘリウムリークレート規格
ヘリウムリーク試験は、清浄なバルブを認定済み UHP バルブに変える受け入れ測定です。質量分析計リークディテクタを用い、バルブを真空排気して外側にヘリウムを噴霧する方法（インボードリーク）、または片側をヘリウムで加圧してシート部で測定する方法（シート越えリーク）のいずれかで実施します。
車内側とシート間のテストは異なります
インボードリークは、ボディ、ダイヤフラム、ステム境界の大気に対する完全性を測ります。シート越えリークは、閉じたバルブが下流側をどれだけ隔離できるかを測ります。両方を仕様に入れるべきであり、片方だけではバルブの半分が未検証になります。
ヘリウムを選ぶ理由
ヘリウムは不活性で原子半径が小さく、空気中には微量しか存在しないため、検出器のバックグラウンドが極めて低くなります。水素、シランその他の小分子ガスを扱うシステムにとって、保守的で再現性のあるトレーサーです。
受け入れ基準の指定
試験方法、試験圧力、方向、許容リークレート、常温下およびサイクル後の試験実施有無を明記してください。パネルをファブで認定する場合は、ロット証明書ではなくバルブごとの記録を求めてください。
漏れ率とシステム純度
気密性は必要ですが十分ではありません。組立、包装、取付に起因する水分と粒子が実際の汚染の主因となるため、リーク試験は電解研磨、クリーンルーム組立、二重包装と併せて位置づけられます。
フィールドの再確認
溶接またはフェイスシール再締結後は、該当継手を再検査してください。工場で合格したバルブも、ガスケットの位置ずれや溶接の多孔質化により取付後にリークする場合があります。
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よくあるご質問
ヘリウムリークテストだけで、バルブをUHPと呼ぶことはできますか？
いいえ。UHP は材料品質、表面仕上げ、洗浄、組立環境、包装にも及ぶ概念です。
バルブごとのテスト記録を請求すべきでしょうか？
はい。ファブその他認定済み設備では可能です。ロット証明書は証拠として弱くなります。