MOCVD LEDプロセスガスバルブ
MOCVDおよびLEDプロセスガス
MOCVD 装置は、しばしば高温・真空下で前駆体とパージ流量の間を高速に切り替えます。これらの配管のバルブは、低デッドボリューム、高速応答、前の前駆体を保持するキャビティがないことが必要です。
Valonix の三方向切替バルブ、計量バルブ、UHPダイヤフラムバルブは、金属有機源配管、ハイドライド供給、アンモニア、水素キャリア系統で使用されます。
素早くクリーンな切り替え
三方向ダイヤフラムバルブは、運転／ベント系統の T 継手と二つのバルブを置き換え、デッドボリュームを削減し、層間パージを短縮します。これはエピタキシャル成長における界面の鮮明さに直接影響します。
- 三ポートの運転／ベント切替
- 内部容積：
- 増殖ステップ間の短いパージ
前駆体および水素化物の取り扱い
金属有機前駆体とハイドライドは、厳密に適合した接液材料とリークタイトな隔離を要します。Cv 0.019 の計量バルブが低前駆体流量を設定し、ノーマルクローズ空圧バルブがハイドライド配管の安全状態を守ります。
- 前駆体流量用の精密計量ステム
- 通常閉水素化物隔離
- ガスごとに宣言された材料適合性
真空度と温度
MOCVD 配管は真空と正圧を繰り返し、一部は加熱されます。温度や腐食性化学物質によりダイヤフラムバルブが不適切な箇所にはベローズシールドバルブが指定されます。
- 真空サイクル機能
- 加熱ラインに関する考慮事項
- 腐食性/高温用途用ベローズバルブ
推奨されるバルブファミリー
三方向ダイヤフラムバルブ
特種ガスパネルのプロセス／パージ／ベント切替用 三方向 UHPダイヤフラムバルブ
計量バルブ＆ニードルバルブ
高純度計量およびニードルバルブによる精密な特殊ガス流量制御
ベローズシールバルブ
有毒ガス、腐食性ガス、高温特殊ガス用のベローズシールバルブ
よくあるご質問
MOCVDの運転/ベントレッグに三方弁を使用する理由は？
T 継手と余分な継手部を省くことで、デッドボリュームとエピタキシャル層間のパージ時間を短縮します。
どのバルブが低前駆体流量を設定しますか？
Cv 約 0.019 の精細計量バルブは、低流量の前駆体に必要な分解能を提供します。