UHPダイヤフラムバルブ

Valonix UHP ダイヤフラムバルブは、316L VIM/VAR ステンレス鋼の棒材、電解研磨された接液面、フェイスシールまたは突合せ溶接の端部接続を基本としています。半導体装置接続、ガスキャビネット、バルブマニホールドボックス、高純度ラボ配管など、水分、酸素、微粒汚染を管理する必要のある用途に指定されています。

超高純度ガスにダイヤフラム設計を採用する理由

ダイヤフラムはプロセス流路とアクチュエータの間に気密な障壁を形成します。アウトガスを生むパッキン、ガス経路の潤滑剤、サイクル間にプロセスガスを閉じ込めるキャビティはありません。短く滑らかな流路はパージも高速化し、シラン、アンモニアまたは塩化水素のような反応性ガスの切り替え時に重要です。

• 湿潤経路にステムパッキンがない金属ダイヤフラム絶縁
• 内部容積が小さいため、パージが迅速でキャリーオーバーが少ない
• 湿気の残留を減らすために電解研磨された湿潤面
• フェイスシール、突合せ溶接、または圧縮端接続

材質と表面仕上げ

ボディ材質は、低介在物含有量と安定した耐食性のため、316L VIM/VAR ステンレス鋼です。接液面は電解研磨後、洗浄、乾燥し、クリーンルーム取付け用に二重袋詰めされます。ダイヤフラム材質はガス適合性で選定し、一般高純度用途には 316L、強腐食性ハライドにはニッケル基合金を用います。

• 316L VIM/VAR本体、低硫黄および低介在物
• 電解研磨された内部流路
• 出荷前にヘリウム漏れ検査済み
• クリーンルームでの組み立てと二重袋包装

適切な流量係数の選択

必要流量に合わせて Cv を選び、バルブを過大サイズにしないでください。Cv 0.27 の 1/4 インチシートは使用点の装置隔離に適し、Cv 0.70-2.8 の 1/2 インチおよび 3/4 インチボディは分岐配管に、Cv 3.5 の 1 インチボディは主配管ヘッダーに適します。過大なバルブはデッドボリュームを増やし、パージサイクルを遅くします。

• Cv 0.20～0.27：使用時点および機器の隔離
• Cv 0.70～0.80：分岐線およびパネル線
• Cv 2.8～3.5：ヘッダーと高流量分配

標準仕様

よくあるご質問