Valonix Fluid Systems — 高純度を実現するために設計された特殊ガスバルブ[email protected] | 見積もりを依頼
特殊ガスレギュレーター

特殊ガスレギュレーター

特種ガスレギュレータは、汚染を加えることなくボンベまたはヘッダー圧力を安定した供給圧力へ減らします。Valonix のレギュレータは 316L またはハステロイのダイヤフラム、金属対金属シート、低内部容積となる高純度流路を採用しています。

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注文に応じて構成

これらのアセンブリは、P&ID、ガスリスト、およびインターロックの原則に基づいて構成されています。 ご要望をお送りください.

これらはボンベバルブの下流、個々の分岐を隔離する UHPダイヤフラムバルブの上流に取り付けられ、ガスキャビネットまたはパネルの圧力制御の中心となります。

一段式と二段式の比較

一段式レギュレータはコンパクトで、入口圧力がほぼ一定なら十分です。二段式はボンベが空になるにつれ供給圧力をより安定的に保ち、分析計、MOCVD プロセス、流量許容差の厳しい装置に重要です。

  • シングルステージ:コンパクト、安定した入口圧力
  • 二段式:ボンベ圧力の低下にかかわらず安定した供給
  • パネルおよびシリンダーの取り付けオプション

入口と出口の範囲

高純度モデルは入口 500-3500 PSI、出口範囲 0-30~0-250 PSI に対応します。高圧ピストン検知モデルは入口 4500-6000 PSI、最大 3000 PSI を供給します。高流量ボディはバルク配管用に 3/4 インチ接続を使用します。

  • 入口500~3500 PSI / 高圧6000 PSIまで
  • アウトレット 0~15、0~30、0~60、0~100、0~150、0~250 PSI
  • 3/4インチポート付き高流量ボディ

ダイアフラム材質とガス適合性

腐食性ガスにはハステロイ・ダイヤフラムが選ばれ、一般高純度用途には 316L が標準です。ハライド・ハイドライドと適合しないエラストマーやダイヤフラム材料もあるため、常にガス、濃度、真空曝露の有無を申告してください。

  • ハステロイまたは316Lダイアフラム
  • ガスと濃度の申告
  • 真空サービスを明記する必要があります

標準仕様

型式シングルステージ/ツーステージ/ピストン感知
入口圧力500~6000 PSI
店舗の商品ラインナップ0~15~0~3000 PSI
ダイアフラムハステロイまたは316L
ボディ316L ステンレススチール
ポート1/4 NPT、3/4インチ、VCRオプション

よくあるご質問

二段式レギュレータは必要ですか?

ボンベが空になることによる供給圧力ドリフトに装置が敏感な場合は二段式を。入口圧力が安定した短い配管では一段式で十分な場合がほとんどです。

腐食性ガスにはどのダイアフラム材質が適していますか?

腐食性ハライド用途には一般にハステロイが選ばれます。正確なガスは当社技術者にご確認ください。

レギュレータはパネルに取り付けることはできますか?

はい。パネルマウント構成とシリンダーマウント構成の両方が用意されています。

新しいラインを指定しますか? ガスリスト、最高圧力、必要 Cv、ポートサイズ、フェイルクローズ要否をご記入ください。 見積もりを依頼する.
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