VMG · 流量計＆ニードルバルブ

VMG精密計量バルブ

計量（Cv 0.019）と調整（Cv 0.30）の両ステムを備え、最大 700 PSI に対応する精密計量バルブ。

対象: 超高純度特殊ガスサービス, VMG は次の製品群に属します: 計量バルブ＆ニードルバルブ 遮断、切り替え、流量制御をカバーするファミリー。

精密計量バルブ 700 psi316L湿潤本体ヘリウムリークテスト済み

見積依頼 計量・ニードルバルブシリーズ

VMG精密計量バルブの概要

VMG は 1/4、1/2、6mm ポート、流量係数 計量ステム 0.019、調整ステム 0.30、最高使用圧力 700 PSI を仕様とする高純度特殊ガスバルブです。最大 700 PSI まで、計量（Cv 0.019）および調整（Cv 0.30）の両ステムを備えた精密計量バルブです。 これは、高純度ガスシステムにおいて、プロセス流路へパッキン式ステムシールを導入せずに、清潔で再現性のある遮断または切替機能が必要な箇所を対象としています。

接液流路は短く滑らかに保たれ、ガスに合わせて金属または硬質ポリマーの密封要素が選定されます。シートと閉合部は管理された仕上げに加工され、バルブを迅速にパージでき、プロセス循環の間で水分を滞留させません。短く滑らかな流路と低い内部容積によりパージサイクルは高速化され、反応性ガスの切り替え時に重要です。端部接続は vcr フェイスシール（雄／雌）、突合せ溶接、圧縮継手 が利用可能で、同一ボディをフェイスシール式装置接続、溶接配管ヘッダー、現場施工の計器配管のいずれにも使用できます。

主な特徴と設計上の利点

• 1/4、1/2、6mmポート、Cv計量ステム0.019、調整ステム0.30 — 余分なデッドボリュームなしで、精密計量バルブ700 psi流量負荷に対応するサイズ
• 700 PSI 強化シートとヘリウム試験済みの圧力エンベロープを備えた最大作動圧力
• 接液流路は短く滑らかに保たれ、ガスに応じて金属または硬質ポリマーのシール要素が選定されます。
• 電解研磨された湿潤面により、乾燥が速く、水分をあまり保持しません
• 手動またはノーマルクローズ空圧作動。空圧仕様は計器用空気の喪失時にフェイルクローズします
• 設置に合わせて VCR、突合せ溶接、圧縮継手、ボンベ規格端部接続から選択
• クリーンルームでの組み立て、二重袋梱包、バルブごとの漏れ記録が利用可能

技術仕様

上記の値はモデル VMG の標準構成を示しています。最終的な材質、シート、作動方式、試験限界および認証は、お見積もりとともに発行される注文固有のデータシートで確認されます。

計量・ニードルバルブファミリー内でのモデル比較

ボディはポートサイズだけでなく流量要件で選定してください。下表は VMG を同系モデルと、ガスシステム設計を左右する三つのパラメータ（ポートサイズ、流量係数、最高使用圧力）で比較します。

構造および湿潤材料

接液流路は短く滑らかに保たれ、ガスに応じて金属または硬質ポリマーのシール要素が選定されます。シートと閉塞部は制御された仕上げに加工されるため、バルブを迅速にパージでき、プロセスサイクル間で水分を保持しません。VMG の接液流路は、含有物が少なく硫黄含有量を管理した 316L VIM/VAR ステンレス鋼から加工し、その後電解研磨します。ハロゲン化物または水素化物ガスが必要とする場合は、ニッケル系のダイアフラムまたはシート合金に置き換えることができます。

エンド接続とポートオプション

VMG は通常 1/4, 1/2, 6mm ポート で発注されます。接続の選択は清浄度と保守性の両方に影響します。VCR 面シールは装置接続に再現性のある金属対金属シールを与え、オービタル突合せ溶接は恒久的な高純度ヘッダーに適し、圧縮継手は現地で配管を組み立てる場合に使用されます。

ガス適合性と一般的な用途

モデル VMG は、接液合金がガスに適合する場合、高純度 N2、Ar、He、H2、O2 および腐食性の水素化物またはハロゲン化物混合ガスに選定されます。濃度、温度、水分または酸素の上限を必ず明記してください。出荷前に接液合金とシートを確認できるようにするためです。

• 半導体装置の接続およびガスキャビネットの隔離分岐
• バルブマニホールドボックス、切替パネル、パージ/ベントレッグ
• 高純度ラボ、分析機器、校正ガスライン
• 太陽電池、MOCVD、水素供給システム
• 関連するアプリケーションガイド：
• MOCVDおよびLEDプロセスガス
• 実験室および分析機器用ガス

設置、パージ、および取り扱い

承認図に示された流向およびポート向きに従ってください。接合が完了するまで保護キャップを装着したままにし、フェイスシール継手は規定トルクで締め、プロセスガスを導入する前に乾燥不活性ガスでパージしてください。内部容積が小さいため、通常は短いサイクルパージで所要の水分レベルに達します。 に従って VMG を取り付けてください。

• 管理区域内で清潔な手袋を着用して取り扱い、設置まで二重袋を開けないでください
• 高純度ヘッダーには、オービタル溶接または認定されたフェイスシールグランドを使用してください
• 乾燥N2またはArでパージし、プロセスガスより上流の水分/酸素を確認します。
• 組み立てられたジョイント、次に内側とシート全体のエンベロープをヘリウムリークチェックします
• シリアル番号、漏れの検査結果、ガスサービスをシステム台帳に記録します

注文と構成

型式コードと下記オプションをご記入ください。腐食性または自然発火性ガスの場合は、ダイヤフラムまたはシート合金を用途に合わせられるよう濃度をお知らせください。

関連モデルと代替品

計量・ニードルバルブ ファミリーおよび関連グループの他のバルブ。異なる Cv、圧力、ポート要件に適する場合があります。

VMU

計量バルブ＆ニードルバルブ

VMU高純度計量バルブ

• ポートサイズ1/4, 1/2, 6mm
• 最大圧力700 PSI
• Cv計量ステム0.019

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NV

計量バルブ＆ニードルバルブ

NV高純度ニードルバルブ

• ポートサイズ1/4, 3/8, 1/2
• 最大圧力依頼
• Cv依頼

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VB-HP

ベローズシールバルブ

VB-HPベローズシールバルブ

• ポートサイズ1/4、3/8、6mm、8mm
• 最大圧力350 PSI
• Cv0.3

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VB8

ベローズシールバルブ

VB8 低圧ベローズシールバルブ

• ポートサイズ1/2、3/8、10mm、12mm
• 最大圧力500 PSI
• Cv0.80

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VB4

ベローズシールバルブ

VB4 低圧ベローズシールバルブ

• ポートサイズ1/4、3/8、6mm、8mm
• 最大圧力500 PSI
• Cv0.3

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よくあるご質問