エンジニアリングガイド

特殊ガスバルブの選び方

公開日 2026-11-05 · 更新 2026-11-05 · Valonix Engineering

特種ガスバルブの選定は、カタログ検索ではなく制約条件の順序立てです。ガス、圧力、流量、接続、作動方式、リーク性能、清浄度をこの順に検討すれば、型式群の多くは自然に絞り込まれます。

1. ガスとその濃度を申告する

パージ・洗浄ガスを含め、配管に触れうるすべてのガスを列挙してください。濃度、温度、水分の有無が接液合金、ダイヤフラム材料、ベローズシール要否を決めます。

最高入口圧力、通常供給圧力、真空曝露、圧力サイクル回数を記録してください。空圧仕様は同じボディの手動仕様より定格が低いのが通常である点に留意してください。

流量と許容圧力降下から必要 Cv を算出してください。過大なバルブはデッドボリュームを増やしてパージを遅らせ、過小なバルブは圧力降下を増大させ、ピーク需要時に装置をガス不足に陥らせます。

再締結可能な UHP 接続には VCR フェイスシール、永久ヘッダーには突合せ溶接、圧縮継手はユーティリティまたは計器配管のみに使用してください。ねじ込みキャビティをプロセス経路に入れないでください。

インターロック、パージ手順、非常停止経路にあるバルブはすべて空圧・ノーマルクローズであるべきです。手動バルブは施錠可能な保守隔離と計器用空気のない配管に適します。

インボードおよびシート越えの両方のヘリウム質量分析計リーク結果に加え、電解研磨された接液面、クリーンルーム組立、二重包装を求めてください。これらが UHP バルブを産業用バルブから分ける項目です。

フェイルポジション、位置フィードバック要件、およびバルブがガス検知・ESD ロジックへどう配線されるかを記録してください。油圧的には正しくてもインターロック思想が誤ったバルブは、やはり誤ったバルブです。

ボディの耐圧定格のみを記載して空圧アクチュエータの低い定格を忘れる、あるいはガスリストを省いて接液材料を選定ではなく仮定にすること。

過大なサイズ選定は避けてください。余分なデッドボリュームはパージサイクルを長くし、ガス間の持ち越しを増やします。