三方向ダイヤフラムバルブ
三方向ダイヤフラムバルブ
三方向ダイヤフラムバルブは、プロセス、パージ、ベントの間で配管を切り替える必要がある箇所で、二つまたは三つの個別遮断バルブを置き換えます。ボディが少ないほど溶接継手、デッドボリューム、リーク検査範囲が減ります。
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Valonix の三ポートバルブは、ボンベ切替パネル、VMB/VMP システムのパージ手順、MOCVD 装置の分流配管で使用されます。VCR フェイスシールまたは突合せ溶接端部の手動・空圧仕様をご用意しています。
スイッチングトポロジー
共通ポートは通常プロセスソースに接続され、二つの出口ポートがプロセス供給とパージ／ベントに割り当てられます。データシートで流路方向を確認してください。三方向バルブは混合バルブではなく、流れ方向がシート荷重に影響します。
- 一つの共通ポートと二つの切替ポート
- プロセス/パージまたはプロセス/ベントの配管
- 注文段階で流量方向を指定する
パージシーケンスと二次汚染
適合しないガス同士の切替は、特種ガスシステムで最もリスクの高い操作です。バルブはパージポートが開く前にプロセスポートを完全に隔離する必要があります。位置フィードバック付き空圧仕様は、装置コントローラへの手順証明を容易にします。
- ブレークビフォアメイクの切り替え動作
- インターロックプルーフの位置フィードバック
- 内部容積が少ないため、パージ時間が短縮されます
サイズと圧力
三方向ダイヤフラムバルブは通常、1/4、3/8、1/2 インチ ポート、Cv 約 0.3、使用圧力 145-300 PSI で供給されます。空圧切替仕様は標準の二方向バルブより高い 70-125 PSI のアクチュエータ供給を必要とします。
- 1/4、3/8、および1/2インチのVCRポート
- Cv 約0.3
- 作動圧力145～300 PSI
標準仕様
| ポート | 3ポート、1コモン + 2スイッチ |
|---|---|
| ポートサイズ | 1/4", 3/8", 1/2" |
| Cv | 0.3 |
| 作動圧力: | 145～300 PSI |
| アクチュエータ供給................................................ .................................................. ........................... | 70～125 PSIの空気圧 |
| 端部接続 | VCRフェイスシール、突合せ溶接 |
よくあるご質問
三方向ダイヤフラムバルブで二種類のガスを混合できますか？
いいえ。これは切替／分流バルブです。混合には流量経路を制御した専用ミキサーが必要です。
アクチュエータの圧力が標準的な空気圧バルブよりも高いのはなぜですか？
切替機構は二つのシート間を移動するため、より大きな推力を要し、その結果 70-125 PSI の供給が必要になります。
三方バルブは漏れ箇所を減らしますか？
はい。二つのバルブと接続 T 継手を一つのボディに置き換えることで、リーク検査対象の溶接・フェイスシール継手を削減できます。
新しいラインを指定しますか？ ガスリスト、最高圧力、必要 Cv、ポートサイズ、フェイルクローズ要否をご記入ください。 見積もりを依頼する.