腐食性有毒特殊ガスのバルブ
腐食性・有毒性特殊ガス
腐食性・毒ガスはバルブ選定を安全上の問題に変えます。パネル製作前に、接液合金、ダイヤフラム材料、ステムシール、フェイルポジションのすべてをガスに合わせる必要があります。
Valonix は、腐食性・高温用途向けのベローズシールドバルブと、より清潔な配管用の UHPダイヤフラムバルブを供給し、材料適合性を申告されたガスリストに対して審査します。
ガスごとの考慮事項
塩素と塩化水素は多くのエラストマーを侵し、適合合金を要します。アンモニアは水分の存在下で腐食性を持ち、シランは自然発火性、NF3 はプロセス条件下で強力な酸化剤です。取付時の水分混入は、ガス自体より大きな損害をもたらすことがよくあります。
- Cl2 / HCl：ハロゲン化物適合合金
- NH3：システムを乾燥した状態に保つ
- SiH4：自己発火性、通常閉
- NF3：酸化剤、洗浄済み、脱脂済み
原子炉格納容器
溶接金属ベローズは、ガス経路にエラストマーを介さない気密なステムシールを与えます。ダイヤフラムバルブは配管用の最小デッドボリュームを実現します。両者ともヘリウムリーク試験済みで、選択は温度、腐食性、純度目標によります。
- ベローズ：密閉ステム、過酷/高温サービス
- ダイヤフラム：最低デッドボリューム、UHPライン
- 両方ともヘリウム漏れ試験済み
インターロックと安全状態
毒ガス配管の作動バルブはすべてノーマルクローズとし、位置フィードバックをガス検知・非常停止システムへ配線すべきです。パージ・ベント系統には逆移動を防ぐチェックバルブが必要です。
- 通常、空気圧または電源が失われると閉じる
- ガス検知/ESDへの位置フィードバック
- パージおよびベントのチェックバルブ
推奨されるバルブファミリー
ベローズシールバルブ
有毒ガス、腐食性ガス、高温特殊ガス用のベローズシールバルブ
UHPダイヤフラムバルブ
特殊ガス供給用の超高純度ダイヤフラムバルブ。316L VIM/VARボディ
高純度チェックバルブ
特殊ガスシステム用の高純度チェックバルブと逆止弁
よくあるご質問
塩素サービスにはどのタイプのバルブを使用しますか？
ハライド系ガスに適合する接液材料のベローズシールドバルブが通常指定されます。濃度と温度をご明示ください。
ここでいう「通常閉」とはどういう意味ですか？
計器用空気または電力の喪失時にバルブは自動閉止します。これが毒ガス配管に要求される安全状態です。