ボンベキャビネットバルクガス分配弁
ボンベキャビネットとバルクガス供給
ボンベキャビネットは、特種ガスが設備へ入る場所です。ボンベ接続、高圧隔離、圧力調整、パージ・ベント、常用と待機ソースの切替を収容します。
Valonix のボンベバルブ、高圧ダイヤフラムバルブ、レギュレータ、自動切替システムは、ボンベ出口から配管ヘッダーまで一貫した接液チェーンを形成します。
キャビネットバルブチェーン
標準チェーンは、ボンベバルブ、高圧隔離バルブ、二段式レギュレータ、プロセスダイヤフラムバルブ、パージバルブ、ベント用チェックバルブ、出口隔離です。三方向バルブはプロセス／ベントの T 継手対を置き換え、リーク検査対象の継手数を減らせます。
- シリンダーバルブとHP隔離
- 二段階圧力調整
- プロセス、パージ、ベントバルブ
- ヘッダーへのアウトレット隔離
自動切り替え
デュアルソース切替は、ボンベ交換中も装置へガスを供給し続けます。圧力検知が切替を開始し、プロセス配管へ開く前にパージ手順で新しい系統を清掃します。
- デューティ/スタンバイ圧力感知
- 新しい脚を開く前にパージする
- 途切れない工具供給
一括配信ヘッダー
キャビネット下流では、より大きな 3/4 インチおよび 1 インチ、Cv 2.8-3.5 のダイヤフラムバルブがヘッダー区間を隔離します。溶接端部は永久配管のリーク候補を減らし、フェイスシールは区間を着脱可能にする箇所に用います。
- Cv 2.8～3.5ヘッダーバルブ
- 恒久的なラインの突合せ溶接
- 取り外し可能なセクション用のフェイスシール
推奨されるバルブファミリー
ガスバルブマニホールド＆VMB
特種ガスバルブマニホールドボックス、バルブマニホールドパネル、自動切替システムの製作
シリンダー＆高圧バルブ
シリンダーバルブおよびチューブトレーラー用20 MPa高圧空気圧バルブ
特殊ガスレギュレーター
高純度・高圧特種ガスレギュレータ、一段式・二段式、入口 600-6000 PSI
よくあるご質問
標準的なガスキャビネット内にはどのようなバルブがありますか？
ボンベ接続、高圧隔離、レギュレータ、プロセス・パージ用ダイヤフラムバルブ、ベント用チェックバルブ、出口隔離。多くの場合切替アセンブリを併用します。
自動切り替えが必要なのはどのような場合ですか？
連続ファブ装置や大型成膜ラインのように、ガス遮断が生産停止やロット廃棄につながる場合。