RV · シリンダー＆高圧バルブ

RV高純度排出バルブ

Name: RV高純度排出バルブ
Brand: Valonix
SKU: RV

レギュレータやパネル系統を下流側過圧から保護するアンローディング（リリーフ）バルブ。

対象: 超高純度特殊ガスサービス, RV は次の製品群に属します: シリンダー＆高圧バルブ遮断、切り替え、流量制御をカバーするファミリー。

高純度アンロードバルブ316L湿潤本体ヘリウムリークテスト済み

見積依頼シリンダー＆高圧バルブ製品群

依頼ポートサイズ

依頼最大圧力

依頼Cv

VCR /溶接接続

RV高純度排出バルブの概要

RV は記載のポート、流量係数モデル固有、最高使用圧力定格値を仕様とする高純度特殊ガスバルブです。レギュレータまたはパネル配管を下流側の過圧から保護するアンローディング（リリーフ）バルブです。これは、高純度ガスシステムにおいて、プロセス流路へパッキン式ステムシールを導入せずに、清潔で再現性のある遮断または切替機能が必要な箇所を対象としています。

補強ボディ、厚肉シート部、高強度ステムにより、ボンベおよびチューブトレーラーの定格で圧力範囲を維持します。接液部は低介在物ステンレス鋼のまま、主密封は金属対金属のため、全作動圧力でヘリウムリーク試験が可能です。短く滑らかな流路と低い内部容積によりパージサイクルは高速化され、反応性ガスの切り替え時に重要です。端部接続は vcr フェイスシール、オービタル突合せ溶接または圧縮継手が利用可能で、同一ボディをフェイスシール式装置接続、溶接配管ヘッダー、現場施工の計器配管のいずれにも使用できます。

主な特徴と設計上の利点

記載されているポート、モデル固有のCv a — 余分なデッドボリュームなしで、高純度のアンロードバルブ流量に対応するサイズ
定格強化シートとヘリウム試験済みの圧力エンベロープを備えた最大作動圧力
ボンベおよびチューブトレーラー定格で圧力範囲を維持するため、補強ボディ、肉厚化シート部、高強度ステムを採用しています。
電解研磨された湿潤面により、乾燥が速く、水分をあまり保持しません
手動またはノーマルクローズ空圧作動。空圧仕様は計器用空気の喪失時にフェイルクローズします
設置に合わせて VCR、突合せ溶接、圧縮継手、ボンベ規格端部接続から選択
クリーンルームでの組み立て、二重袋梱包、バルブごとの漏れ記録が利用可能

技術仕様

本体材質	316L ステンレススチール
Service	特殊ガスの供給
漏れ検査	ヘリウム質量分析計
モデルコード	RV
製品グループ	シリンダー＆高圧バルブ
シール要素	強化金属シート、高強度ステム、金属一次シール
濡れた表面仕上げ	電解研磨、標準的なRa 0.25 um（10 uin）以上
・リークテスト	ヘリウム質量分析計、内側およびシートを横断。通常1 x 10^-9 mbar l/s
動作温度	通常 -10℃～+80℃（手動）、-10℃～+65℃（空気圧式）
作動方式	手動ハンドホイールまたは通常閉の空気圧、60～90 PSIの計装用空気
清浄度	超高純度ガスサービスのために洗浄、乾燥、組み立て済み
包装	クリーンルーム用二重バッグ、設置用に密封済み
ドキュメント	材質証明書、ヘリウムリーク記録、適合証明書

上記の値はモデル RV の標準構成を示しています。最終的な材質、シート、作動方式、試験限界および認証は、お見積もりとともに発行される注文固有のデータシートで確認されます。

シリンダー＆高圧バルブファミリー内でのモデル比較

ボディはポートサイズだけでなく流量要件で選定してください。下表は RV を同系モデルと、ガスシステム設計を左右する三つのパラメータ（ポートサイズ、流量係数、最高使用圧力）で比較します。

モデル	ポート	Cv	最大圧力
WRV	1/4	-	1000 PSI
UCV20	-	-	20MPa
CV20L	3/8, 1/2, 3/4	-	20MPa
CV20A	3/4	-	20MPa

構造および湿潤材料

強化ボディ、肉厚化したシート部、高強度ステムにより、シリンダーおよびチューブトレーラーの定格圧力範囲を維持します。接液部は含有物の少ないステンレス鋼のままで、主シールは金属対金属のため、全作動圧力でヘリウムリーク試験が可能です。RV の接液流路は、含有物が少なく硫黄含有量を管理した 316L VIM/VAR ステンレス鋼から加工し、その後電解研磨します。ハロゲン化物または水素化物ガスが必要とする場合は、ニッケル系のダイアフラムまたはシート合金に置き換えることができます。

部品	標準仕様
ボディ	316L VIM/VARステンレス鋼棒材
ウェット仕上げ	電解研磨、標準的なRa 0.25 um（10 uin）以上
シール要素	強化金属シート、高強度ステム、金属一次シール
アクチュエータ	手動ハンドホイールまたは通常閉の空気圧ピストン、60～90 PSIの供給
プロセス接続	VCRフェイスシール、オービタル突合せ溶接または圧縮

エンド接続とポートオプション

RV は通常記載のポートで発注されます。接続の選択は清浄度と保守性の両方に影響します。VCR 面シールは装置接続に再現性のある金属対金属シールを与え、オービタル突合せ溶接は恒久的な高純度ヘッダーに適し、圧縮継手は現地で配管を組み立てる場合に使用されます。

パラメータ	利用可能なオプション
標準ポート	記載された
端部接続	VCRフェイスシール、オービタル突合せ溶接または圧縮
シール規格	VCRフェイスシール/オービタル突合せ溶接/圧縮/シリンダーサービス用のCGAまたはDISS
作動方式	手動、または60～90 PSIの計装用空気を使用した常閉式空気圧
任意書類	材質証明書、ヘリウムリーク記録、適合証明書

ガス適合性と一般的な用途

モデル RV は、供給圧力における高圧 H2、N2、Ar、He、O2 およびボンベ級特殊ガス混合ガスに選定されます。濃度、温度、水分または酸素の上限を必ず明記してください。出荷前に接液合金とシートを確認できるようにするためです。

半導体装置の接続およびガスキャビネットの隔離分岐
バルブマニホールドボックス、切替パネル、パージ/ベントレッグ
高純度ラボ、分析機器、校正ガスライン
太陽電池、MOCVD、水素供給システム
関連するアプリケーションガイド：
水素・燃料電池用高圧バルブ
ボンベキャビネットとバルクガス供給

設置、パージ、および取り扱い

承認図に示された流向およびポート向きに従ってください。接合が完了するまで保護キャップを装着したままにし、フェイスシール継手は規定トルクで締め、プロセスガスを導入する前に乾燥不活性ガスでパージしてください。内部容積が小さいため、通常は短いサイクルパージで所要の水分レベルに達します。に従って RV を取り付けてください。

管理区域内で清潔な手袋を着用して取り扱い、設置まで二重袋を開けないでください
高純度ヘッダーには、オービタル溶接または認定されたフェイスシールグランドを使用してください
乾燥N2またはArでパージし、プロセスガスより上流の水分/酸素を確認します。
組み立てられたジョイント、次に内側とシート全体のエンベロープをヘリウムリークチェックします
シリアル番号、漏れの検査結果、ガスサービスをシステム台帳に記録します

注文と構成

型式コードと下記オプションをご記入ください。腐食性または自然発火性ガスの場合は、ダイヤフラムまたはシート合金を用途に合わせられるよう濃度をお知らせください。

並べ替えパラメータ	現在の選択状況
ベースモデル	RV — RV高純度排出バルブ
ポートサイズ	記載された
接続を終了する	VCRフェイスシール、オービタル突合せ溶接または圧縮
作動方式	手動ハンドホイール/ノーマリークローズド空気圧（60～90 PSI）
濡れた合金	316L VIM/VAR標準、ガス適合性によるニッケル系合金
ドキュメント	材質証明書、ヘリウムリーク記録、CoC（必要な場合は明記）

データシートが必要ですか？ モデルコード RV とガスリスト、圧力、Cv 目標値、接続を次のをお送りください。見積もりフォーム確認済みの構成とリードタイムをお知らせします。

RV の仕様を決定する準備はできていますか？

ガス、圧力、流量、接続の詳細をお送りください。型式、材料、納期を確認いたします。

見積依頼

よくあるご質問

RV の主な仕様は何ですか？

RV は記載のポートポート、最高使用圧力定格値、Cv モデル固有で供給されます。端部接続は vcr フェイスシール、オービタル突合せ溶接または圧縮継手です。本ページの完全な仕様表は、材料、リーク試験、作動方式、清浄度要件を記載しています。

RV は腐食性または有毒の特殊ガスに適していますか？

これは、供給圧力における高圧 H2、N2、Ar、He、O2 およびボンベ級特種ガス混合ガスに使用されます。適合性は接液合金とシール要素に依存するため、見積もり時にガスと濃度をお知らせいただければ材料選定を確認します。

RV はどのように作動し、安全状態はどのようになりますか？

標準構成は手動ハンドホイール、または 60-90 PSI の計器用空気で駆動するノーマルクローズ空圧アクチュエータです。空圧仕様は空気喪失時に閉止し、多くのガスキャビネット・装置接続隔離点で要求される安全状態となります。

RV の注文方法を教えてください。

モデル RV について、ガスリスト、運転圧力、必要 Cv、ポートサイズ、端部接続、作動方式。材料証明書、バルブごとのヘリウムリーク試験記録、適合証明書はご注文時に添付可能です。を添えてお見積もりください。