用途
特殊ガスバルブの用途
ガスとプロセスが異なればバルブへの要求も異なります。これらのガイドは各業界で用いられるバルブ形式、材料、安全状態のロジックを網羅します。
半導体製造ガス供給
半導体ファブのガス供給向け UHPダイヤフラムバルブ、レギュレータ、VMB パネル：シラン、NF3、NH3
太陽電池・太陽光発電関連製品の製造
太陽電池セル製造ライン向け高純度バルブ：PECVD、拡散、薄膜成膜へのシラン、アンモニア、亜酸化窒素供給。
MOCVDおよびLEDプロセスガス
MOCVD・LED 製造向け UHP バルブ：金属有機前駆体配管、アンモニア、水素化物、キャリア水素の高速パージ切替。
実験室および分析機器用ガス
GC、ICP、質量分析、校正ガスシステム向け高純度バルブ：低デッドボリューム
水素・燃料電池用高圧バルブ
水素貯蔵、チューブトレーラー、燃料電池試験台向け高圧バルブ：20 MPa 用途、低リークレート
腐食性・有毒性特殊ガス
SiH4、NH3、HCl、Cl2、NF3 のバルブ選定：ベローズシールドバルブとダイヤフラムバルブ、適合合金、ノーマルクローズの安全状態。
ボンベキャビネットとバルクガス供給
ボンベキャビネット、ガスヤード、バルク配管向けバルブ：ボンベバルブ、高圧隔離、レギュレータ