VT423 三方UHPダイヤフラムバルブ
T 継手と二つのバルブを置き換える三ポート切替バルブ。プロセス／パージ、運転／ベント系統のデッドボリュームとパージ時間を削減します。
対象: 超高純度特殊ガスサービス, VT423 は次の製品群に属します: 三方向ダイヤフラムバルブ 遮断、切り替え、流量制御をカバーするファミリー。
VT423 三方UHPダイヤフラムバルブの概要
VT423 は 1/4、3/8、1/2 ポート、流量係数 0.3、最高使用圧力 300 PSI を仕様とする高純度特殊ガスバルブです。プロセス／パージおよび運転／ベント系統の T 継手と二つのバルブを置き換える三ポート切替バルブ、デッドボリュームとパージ時間を削減します。 これは、高純度ガスシステムにおいて、プロセス流路へパッキン式ステムシールを導入せずに、清潔で再現性のある遮断または切替機能が必要な箇所を対象としています。
多層金属ダイヤフラムがボディとボンネットの間に挟持され、プロセスガスとアクチュエータの間に気密な障壁を形成します。接液経路には摺動ステムシール、パッキン、潤滑剤がなく、微粒発生と滞留容積は極めて低く抑えられます。短く滑らかな流路と低い内部容積によりパージサイクルは高速化され、反応性ガスの切り替え時に重要です。端部接続は vcr フェイスシール（雄／雌）、突合せ溶接 が利用可能で、同一ボディをフェイスシール式装置接続、溶接配管ヘッダー、現場施工の計器配管のいずれにも使用できます。
主な特徴と設計上の利点
- 1/4、3/8、1/2ポート、Cv 0.3 — 余分なデッドボリュームなしで、三方向 UHPダイヤフラムバルブ 1/4 VCR の流量要件に合わせたサイズ
- 300 PSI 強化シートとヘリウム試験済みの圧力エンベロープを備えた最大作動圧力
- 多層金属ダイヤフラムがボディとボネットの間に締め付けられ、プロセスガスとアクチュエータの間を気密に遮断します。
- 電解研磨された湿潤面により、乾燥が速く、水分をあまり保持しません
- 手動またはノーマルクローズ空圧作動。空圧仕様は計器用空気の喪失時にフェイルクローズします
- 設置に合わせて VCR、突合せ溶接、圧縮継手、ボンベ規格端部接続から選択
- クリーンルームでの組み立て、二重袋梱包、バルブごとの漏れ記録が利用可能
技術仕様
| ポートサイズ | 1/4, 3/8, 1/2 |
|---|---|
| 端部接続 | VCRフェイスシール（オス/メス）、突合せ溶接 |
| Cv | 0.3 |
| 最大作業圧 | 145～300 PSI |
| アクチュエータ供給................................................ .................................................. ........................... | 70～125 PSI |
| モデルコード | VT423 |
| 製品グループ | 三方向ダイヤフラムバルブ |
| 本体材質 | 316L VIM/VARステンレス鋼、低介在物 |
| シール要素 | 多層316L金属ダイヤフラム、ハロゲン化物用のニッケル合金オプション |
| 濡れた表面仕上げ | 電解研磨、標準的なRa 0.25 um（10 uin）以上 |
| ・ リークテスト | ヘリウム質量分析計、内側およびシートを横断。通常1 x 10^-9 mbar l/s |
| 動作温度 | 通常 -10℃～+80℃（手動）、-10℃～+65℃（空気圧式） |
| 作動方式 | 手動ハンドホイールまたは通常閉の空気圧、60～90 PSIの計装用空気 |
| 清浄度 | 超高純度ガスサービスのために洗浄、乾燥、組み立て済み |
| 包装 | クリーンルーム用二重バッグ、設置用に密封済み |
| ドキュメント | 材質証明書、ヘリウムリーク記録、適合証明書 |
上記の値はモデル VT423 の標準構成を示しています。最終的な材質、シート、作動方式、試験限界および認証は、お見積もりとともに発行される注文固有のデータシートで確認されます。
構造および湿潤材料
多層金属ダイアフラムがボディとボネットの間に締め付けられ、プロセスガスとアクチュエータの間を気密に遮断します。接液流路には摺動軸シールもパッキンも潤滑剤もないため、粒子発生と滞留容積は極めて小さく抑えられます。VT423 の接液流路は、含有物が少なく硫黄含有量を管理した 316L VIM/VAR ステンレス鋼から加工し、その後電解研磨します。ハロゲン化物または水素化物ガスが必要とする場合は、ニッケル系のダイアフラムまたはシート合金に置き換えることができます。
| 部品 | 標準仕様 |
|---|---|
| ボディ | 316L VIM/VARステンレス鋼棒材 |
| ウェット仕上げ | 電解研磨、標準的なRa 0.25 um（10 uin）以上 |
| シール要素 | 多層316L金属ダイヤフラム、ハロゲン化物用のニッケル合金オプション |
| アクチュエータ | 手動ハンドホイールまたは通常閉の空気圧ピストン、60～90 PSIの供給 |
| プロセス接続 | VCRフェイスシール（オス/メス）、突合せ溶接 |
エンド接続とポートオプション
VT423 は通常 1/4, 3/8, 1/2 ポート で発注されます。接続の選択は清浄度と保守性の両方に影響します。VCR 面シールは装置接続に再現性のある金属対金属シールを与え、オービタル突合せ溶接は恒久的な高純度ヘッダーに適し、圧縮継手は現地で配管を組み立てる場合に使用されます。
| パラメータ | 利用可能なオプション |
|---|---|
| 標準ポート | 1/4, 3/8, 1/2 |
| 端部接続 | VCRフェイスシール（オス/メス）、突合せ溶接 |
| シール規格 | VCRフェイスシール/オービタル突合せ溶接/圧縮/シリンダーサービス用のCGAまたはDISS |
| 作動方式 | 手動、または60～90 PSIの計装用空気を使用した常閉式空気圧 |
| 任意書類 | 材質証明書、ヘリウムリーク記録、適合証明書 |
ガス適合性と一般的な用途
モデル VT423 は、シラン (SiH4)、アンモニア (NH3)、塩化水素 (HCl)、塩素 (Cl2)、三フッ化窒素 (NF3)、六フッ化タングステン (WF6) および高純度 N2、Ar、He、H2 に選定されます。濃度、温度、水分または酸素の上限を必ず明記してください。出荷前に接液合金とシートを確認できるようにするためです。
- 半導体装置の接続およびガスキャビネットの隔離分岐
- バルブマニホールドボックス、切替パネル、パージ/ベントレッグ
- 高純度ラボ、分析機器、校正ガスライン
- 太陽電池、MOCVD、水素供給システム
- 関連するアプリケーションガイド：
- MOCVDおよびLEDプロセスガス
設置、パージ、および取り扱い
承認図に示された流向およびポート向きに従ってください。接合が完了するまで保護キャップを装着したままにし、フェイスシール継手は規定トルクで締め、プロセスガスを導入する前に乾燥不活性ガスでパージしてください。内部容積が小さいため、通常は短いサイクルパージで所要の水分レベルに達します。 に従って VT423 を取り付けてください。
- 管理区域内で清潔な手袋を着用して取り扱い、設置まで二重袋を開けないでください
- 高純度ヘッダーには、オービタル溶接または認定されたフェイスシールグランドを使用してください
- 乾燥N2またはArでパージし、プロセスガスより上流の水分/酸素を確認します。
- 組み立てられたジョイント、次に内側とシート全体のエンベロープをヘリウムリークチェックします
- シリアル番号、漏れの検査結果、ガスサービスをシステム台帳に記録します
注文と構成
型式コードと下記オプションをご記入ください。腐食性または自然発火性ガスの場合は、ダイヤフラムまたはシート合金を用途に合わせられるよう濃度をお知らせください。
| 並べ替えパラメータ | 現在の選択状況 |
|---|---|
| ベースモデル | VT423 — VT423 三方UHPダイヤフラムバルブ |
| ポートサイズ | 1/4, 3/8, 1/2 |
| 接続を終了する | VCRフェイスシール（オス/メス）、突合せ溶接 |
| 作動方式 | 手動ハンドホイール/ノーマリークローズド空気圧（60～90 PSI） |
| 濡れた合金 | 316L VIM/VAR標準、ガス適合性によるニッケル系合金 |
| ドキュメント | 材質証明書、ヘリウムリーク記録、CoC（必要な場合は明記） |
VT423 の仕様を決定する準備はできていますか？
ガス、圧力、流量、接続の詳細をお送りください。型式、材料、納期を確認いたします。
関連モデルと代替品
三方向ダイヤフラムバルブ ファミリーおよび関連グループの他のバルブ。異なる Cv、圧力、ポート要件に適する場合があります。
VX4-LPVX4 低圧UHPダイヤフラムバルブ
- ポートサイズ1/4, 3/8
- 最大圧力300 PSI
- Cv0.27
VX4H-HPVX4H高圧ダイヤフラムバルブ
- ポートサイズ1/4
- 最大圧力4500 PSI
- Cv0.20
VX8-LPVX8 低圧UHPダイヤフラムバルブ
- ポートサイズ1/2
- 最大圧力300 PSI
- Cv0.70
よくあるご質問
VT423 の主な仕様は何ですか？
VT423 は 1/4、3/8、1/2 ポート、最高使用圧力 300 PSI、Cv 0.3 で供給されます。端部接続は vcr フェイスシール（雄／雌）、突合せ溶接 です。本ページの完全な仕様表は、材料、リーク試験、作動方式、清浄度要件を記載しています。
VT423 は 腐食性または有毒の特殊ガス に適していますか？
シラン（SiH4）、アンモニア（NH3）、塩化水素（HCl）、塩素（Cl2）、三フッ化窒素（NF3）、六フッ化タングステン（WF6）および高純度 N2、Ar、He、H2 に使用されます。適合性は接液合金とシール要素に依存するため、見積もり依頼時にガスと濃度を明記してください。材料選定を確認いたします。
VT423 はどのように作動し、安全状態はどのようになりますか？
標準構成は手動ハンドホイール、または 60-90 PSI の計器用空気で駆動するノーマルクローズ空圧アクチュエータです。空圧仕様は空気喪失時に閉止し、多くのガスキャビネット・装置接続隔離点で要求される安全状態となります。
VT423 の注文方法を教えてください。
モデル VT423 について、ガスリスト、運転圧力、必要 Cv、ポートサイズ、端部接続、作動方式。材料証明書、バルブごとのヘリウムリーク試験記録、適合証明書はご注文時に添付可能です。 を添えてお見積もりください。